某些制造業(yè)的潔凈車(chē)間除了空氣潔凈度外，還有嚴(yán)格的溫度、濕度要求，如果溫濕度控度不好，潔凈車(chē)間環(huán)境可能會(huì)產(chǎn)生負(fù)面影響，從而使產(chǎn)品的品質(zhì)下降，比如滋生細(xì)菌，金屬腐蝕、出現(xiàn)靜電荷、水汽冷凝等現(xiàn)象都會(huì)對(duì)生產(chǎn)流程有不良影響、甚至危害。

在潔凈車(chē)間設(shè)計(jì)中，對(duì)室內(nèi)濕度的控制是需要較高技術(shù)含量的。潔凈車(chē)間內(nèi)的相對(duì)濕度，可以通過(guò)局部濕度來(lái)控制，如果室內(nèi)濕度較高的話，可通過(guò)恒溫恒濕控制系統(tǒng)降低冷凍盤(pán)管流出空氣的溫度來(lái)加強(qiáng)除濕。與此同時(shí)，通過(guò)再熱盤(pán)管提供熱量來(lái)保持室內(nèi)溫度。如果需要精準(zhǔn)控制濕度，可以通過(guò)精密空調(diào)的新風(fēng)絕熱增濕效果來(lái)實(shí)現(xiàn)。
       潔凈車(chē)間內(nèi)的相對(duì)濕度，也可以通過(guò)超聲波濕度調(diào)節(jié)設(shè)備來(lái)控制，需要把超聲波濕度調(diào)節(jié)元件安裝在終過(guò)濾前的風(fēng)管靜壓箱內(nèi)。此外，還要注意用水水質(zhì)與水電陰率，前者為RO/DI，后者為3-5mgm。
       關(guān)于相對(duì)濕度的設(shè)計(jì)控制范圍。如果低于控制范圍，恒溫恒濕設(shè)備會(huì)啟動(dòng)濕度調(diào)節(jié)功能，以便增加新風(fēng)含水量。如果高于控制范圍，恒溫恒濕設(shè)備會(huì)降低新風(fēng)控制冷凍盤(pán)管流出空氣的露點(diǎn)溫度，以便增強(qiáng)除濕效果。