現(xiàn)代工業(yè)潔凈室的空氣消毒方法, 主要有紫外線消毒、空氣過濾、臭氧和熏蒸消毒以及靜電吸附等，往往在設(shè)計潔凈車間時會采用一種到兩種來控制潔凈空間內(nèi)的微生物含量。采用臭氧消毒是主要方法之一，對大部分潔凈車間具有普適性。臭氧有較好的擴散性, 臭氧消毒具有消毒效果持續(xù)時間長和消毒無殘留和無死角的優(yōu)點,能夠有效的殺滅空氣中的微生物。臭氧殺菌受溫度、濕度和濃度作用的影響較大, 通常情況溫度低和濕度大的環(huán)境下的臭氧殺菌效果較好。

臭氧在常溫下15～20分鐘后分解，臭氧在200攝氏度下幾乎瞬間分解，所以臭氧消毒的溫度越低就越好。此外，臭氧在濕度越高的環(huán)境下消毒效果越好。有論文顯示：在室溫 2 5℃、相對濕度為 4 0 %和 70 %條件下 ，同樣開機消毒 2h：,對白色念珠菌的殺滅率從 86.0 %提高到 99.93%。在相對濕度為 4 0 %時 ,開機消毒 6h不能破壞HBsAg抗原性 ;相對濕度提高到 70 % ,HBsAg抗原性可完全被破壞。溫度低，濕度大則殺滅效果好，尤其是濕度，相對濕度小于45%，臭氧對空氣中懸浮微生物幾乎沒有殺滅作用。在60%時才逐漸增強，在95%時達到最大值。臭氧濃度的取值，根據(jù)《消毒技術(shù)規(guī)范》及實際應(yīng)用經(jīng)驗，三十萬級取N=5mg/m3；十萬級取N=10mg/m3；萬級取N=30mg/m3；百級取N=40mg/m3。 （1PPM等于2.14mg/m3）。

具體的消毒時間，可以根據(jù)潔凈車間大小以及潔凈度等級要求來進行確定。臭氧消毒雖然有其自身的優(yōu)點,但它對物體表面的微生物難以有效的清除, 因此潔凈車間的清潔還需要對車間內(nèi)物體表面進行定期拭擦清潔消毒。另外，臭氧還對人體具有一定的刺激作用, 臭氧消毒必須在無人的環(huán)境下進行。