某些制造業(yè)的潔凈車間除了空氣潔凈度外，還有嚴格的溫度、濕度要求，如果溫濕度控度不好，潔凈車間環(huán)境可能會產(chǎn)生負面影響，從而使產(chǎn)品的品質(zhì)下降，比如滋生細菌，金屬腐蝕、出現(xiàn)靜電荷、水汽冷凝等現(xiàn)象都會對生產(chǎn)流程有不良影響、甚至危害。

在潔凈車間設計中，對室內(nèi)濕度的控制是需要較高技術含量的。潔凈車間內(nèi)的相對濕度，可以通過局部濕度來控制，如果室內(nèi)濕度較高的話，可通過恒溫恒濕控制系統(tǒng)降低冷凍盤管流出空氣的溫度來加強除濕。與此同時，通過再熱盤管提供熱量來保持室內(nèi)溫度。如果需要精準控制濕度，可以通過精密空調(diào)的新風絕熱增濕效果來實現(xiàn)。
       潔凈車間內(nèi)的相對濕度，也可以通過超聲波濕度調(diào)節(jié)設備來控制，需要把超聲波濕度調(diào)節(jié)元件安裝在終過濾前的風管靜壓箱內(nèi)。此外，還要注意用水水質(zhì)與水電陰率，前者為RO/DI，后者為3-5mgm。
       關于相對濕度的設計控制范圍。如果低于控制范圍，恒溫恒濕設備會啟動濕度調(diào)節(jié)功能，以便增加新風含水量。如果高于控制范圍，恒溫恒濕設備會降低新風控制冷凍盤管流出空氣的露點溫度，以便增強除濕效果。